高真空热蒸发镀碳仪

SC400T 高真空热蒸发镀碳仪

SC400T高真空热蒸发镀碳仪是一款集成涡轮分子泵的高真空型镀碳设备，采用一体加工金属样品仓，极限真空度优于5×10⁻³Pa，可制备更高纯度、更均匀的碳膜。设备基于碳绳热蒸发技术，W型蒸发源结构碳绳利用率高，一次可安装4组碳绳，支持闪断式和脉冲式两种蒸发模式，满足不同厚度和精度要求的碳膜制备。

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分类：

电镜制样产品导电膜制备

产品概述

设备配备7英寸彩色触摸屏，支持一键式全自动操作，自动完成抽真空、预蒸发、设定样品台至转速、启动镀膜、破真空等全过程。配备防污染系统与自动预蒸发挡板，有效提高样品镀膜效果。样品台直径120mm，可插入35个SEM标准样品台，支持升降、旋转及可选倾斜功能，适合批量制样和多样化样品需求。

核心优势

· 高真空性能：一体加工金属样品仓，极限真空优于5×10⁻³Pa，满足大部分场景需求

· 一键式全自动操作：自动完成抽真空、预蒸发、设定样品台至转速、启动镀膜、破真空等全过程

· 7英寸彩色触摸屏：工作参数实时查看，界面简洁易用

· 防污染系统：配备防污染系统，内置预蒸发挡板自动开启与关闭，提高样品镀膜效果

· 双蒸发模式：闪断式（快速镀厚膜）和脉冲式（精确控厚、低热损伤）可选

· W型蒸发源结构：碳绳利用率高，一次可安装4组碳绳，碳绳用量自定义

· 大容量样品台：直径120mm，可插入35个SEM标准样品台

· 多功能样品台：支持旋转、升降及倾斜功能（倾斜可选配）

技术参数

镀膜参数
蒸发模式	闪断式或脉冲式：闪断加热模式：可设定蒸发源使用数量，镀膜效率较高，可快速镀较厚的碳膜脉冲加热模式：可设定蒸发脉冲数量，便于精确控制碳膜厚度和减少对样品的热损伤
蒸发源	一次可安装4组碳绳，开机自动检测碳绳状态并在主页显示，使用过程中实时更新碳绳通断状态
工作启动压强	5×10⁻³Pa~1Pa，连续可调，可随时调整并实时生效
破真空气体	氩气、氮气或空气，减压阀输入压力：1~3大气压
破真空接口	4mm快插接口
其他	内置预蒸发挡板，自动开启与关闭
真空系统
真空泵	旋片式真空泵（外置，可选无油干泵）+涡轮分子泵（内置，90L/s）
真空测量	全量程复合真空计
极限真空度	≤5×10⁻³Pa
样品仓
材质	一体加工金属样品仓
仓内尺寸	170(L)×150(H)×163.5(D)mm
样品台
样品台直径	120mm，可插入35个SEM标准样品台
支持升降、旋转	高度可调、转速可调
可选配倾斜功能	倾斜角度可调
电气参数及环境要求
电压	220V, 50Hz
功率	≤1000W
工作温度	15-30℃
存储温度	5-40℃
环境湿度	≤80%（建议≤50%）

应用领域

· 扫描电子显微镜（SEM）高分辨率碳导电膜制备

· 透射电子显微镜（TEM）碳支持膜及碳膜制备

· 能谱分析（EDS/EDX）、电子背散射衍射（EBSD）样品制备

· 清洁度分析、矿物分析、材料科学研究的碳膜镀制

· 高校、科研院所及企业实验室的高真空碳膜制备

操作控制

· 7英寸彩色触摸屏控制，设置及操作界面简洁易用

· 一键式操作、全自动控制，参数设置完毕后点击"一键镀膜"，设备自动完成抽真空、预蒸发、设定样品台至转速、启动镀膜、破真空等全部操作